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星空体育注册西湖仪器实现 12 英寸碳化硅衬底自动化激光剥离推动 SiC 产业尺寸迁移

时间:2025-03-27 17:39:47 点击次数:

  在此前的 2024 年 11 月,天岳先进发布了业界首款 300mm 的 N 型碳化硅衬底。更大的衬底尺寸扩大了单一晶圆上可用于芯片制造的面积,降低了边缘损失比例,而这也带来了对 12 英寸及以上的超大尺寸碳化硅衬底切片技术的需求。

星空体育注册西湖仪器实现 12 英寸碳化硅衬底自动化激光剥离推动 SiC 产业尺寸迁移(图1)

  ,其在激光剥离过程中不存在材料损耗,星空体育下载仅需在后续减薄工序中将上下表面共去除约 80-100μm 的材料,拥有更低原料损耗率,此外衬底出片时间也大幅缩短。IT之家了解到,西湖仪器(杭州)技术有限公司成立于 2021 年 12 月,星空体育下载是一家集研发、生产、销售的专业化仪器设备公司,其

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